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產品詳情
  • 產品名稱:大尺寸樣品正置式顯微鏡

  • 產品型號:Axio Imager Vario
  • 產品廠商:德國蔡司
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
分析從極小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或甚至整塊平板顯微器,其間不會對樣品造成破壞。借助*大 300 mm 的橫向移動距離和*高 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設計確保了穩(wěn)定性。在超凈室內檢測晶圓的應用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅動 Z 軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至更佳聚焦位置。
詳情介紹:

大尺寸樣品正置式顯微鏡Axio Imager Vario特點:


 

兩種手動和一種電動機柱(配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕)可供選擇,充分   利用顯微鏡*大 300 mm 橫向與縱向移動距離和*高 254 mm 垂直深度的優(yōu)勢。

Axio Imager Vario 能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著,即便是較重的樣品,也可以獲得高精準聚焦精度和可重復性。

借助自動聚焦硬件,您可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。

Axio Imager Vario LSM 700 組合應用,以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。

Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證,并滿足潔超凈室等級 5 的要求。


                 晶圓

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